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目元激光混合氣體的佳方案組成比例：CO:4%,CO2：8%,He:28%,N2:60%。這種四元激光混合氣體可以是二維激光切割機床達到大的輸出功率，并且大切割鋼板厚度達到25mm，還可以更好的保證工件質(zhì)量。金屬蒸汽離子激光中，氦鎘(He-Cd)激光是主要的，氦硒(He-Se)、氦鋅(He-Zn)等激光為此家族中之成員。氦鎘激光的325 nm紫外線，和441.6 nm藍光，是常見的輸出。加上特殊設(shè)計時，它可同時發(fā)生紅光(635.6及636.0 nm)和綠光(533.7及537.8 nm)。它的短波長成分，在信息處理方面很有用。適當調(diào)配各波長的輸出，幾乎能夠發(fā)生一切可見光的顏色，因此它的白光激光產(chǎn)品也是有名的。儲存密度及鑒別能力的提高，使它在量度、查驗、記載、印刷等方面有許多使用。重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質(zhì)，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準分子不會天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時形成的。

20W機型可發(fā)生275.4至1090.0 nm的一些激光光。主要的可見光波長分別是514.5、501.7、496.5、 488.0、476.5、472.7、465.8、457.9、454.5 nm。藍綠光波段中，而常用的是514.5及488 nm。氪離子激光可發(fā)生337.4至799.3 nm，的是647.1 nm，其次為413.1及530.9 nm。產(chǎn)品中，有將氬氣與氪氣混合的機型。分子氣體：二氧化碳激光和氮氣激光是常見的分子氣體激光，其主要激光光分屬紅外線(10,640 nm)及紫外線(337 nm)。生物組織中的水分會吸收它的10,640 nm激光光，所以能用于手術(shù)，所需激光光功率約為50W。此外，非金屬材料的加工、金屬表面的熱處理、光譜學(xué)及光化學(xué)研討、環(huán)境遙測、測距、激起其他激光、發(fā)生離子體(俗稱電漿；Plasma)等，也都可用二氧化碳激光來進行。 激光混合氣中的發(fā)生氣體是激光發(fā)生器上用來產(chǎn)生激光的氣體，對氣體質(zhì)量要求高，激光混合氣配制精度要求高，高純二氧化碳純度達99.999%，高純氮氣的純度99.999%，高純氦氣的純度要求99.999%，二氧化碳是產(chǎn)生激光的，氦氣是冷卻激光器的，氮氣是平衡氣體，氣體中的水分、氧份、有機氣體雜質(zhì)對激光機的鏡片損傷特別大，能快速減少鏡片的壽命。所以激光機對這些氣體的質(zhì)量要求特別高。

氣體激光器的重要特點之一，激光工作物質(zhì)是混合氣或單一純氣體。由于激光混合氣中組分氣的純度直接影響激光的性能，特別是氣體中氧、水、碳氫化合物等雜質(zhì)的存在將導(dǎo)致激光輸出功率在鏡(面)和電極上的耗損，還會引起激光發(fā)射的不穩(wěn)定。因此，對激光混合氣組分的純度有著特殊要求，包裝混合氣的鋼瓶，充裝前也必須進行干燥處理，防止污染混合氣。如果將氦(He)氖(Ne)激光作為代氣體激光，二氧化碳激光是第二代氣體激光，在半導(dǎo)體制造領(lǐng)域?qū)⒋罅渴褂玫姆?KrF)激光，可稱為第三代激光。 重要的準分子激光，以稀有氣體的鹵化物為自動介質(zhì)，如ArF, KrF, XeF, KrCl, XeCl等。因為受激態(tài)常以星號(*)上標表示，所以有些數(shù)據(jù)上寫成ArF*等。準分子不會天然出現(xiàn)，而是在氣體混合物中放電時形成的。準分子(Excimer)激光：準分子一詞的本意，是「兩個同種原子組成，而只存在于受激態(tài)的分子」，如稀有氣體分子He2、Ar2、Xe2等；其英文原名為 Excited Dimer 組合成的術(shù)語。現(xiàn)在現(xiàn)已將它的適用范圍放寬，以包含「不存在于基態(tài)，只以受激態(tài)出現(xiàn)的任何雙原子分子(有時還包含三原子分子)」。

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